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截至2026年5月13日 13:21，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨3.51%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨3.81%， 冲击3连涨，盘中换手8.14%，成交4.76亿元。

截至5月12日，半导体设备ETF易方达(159558)近1月规模增长8.81亿元，近半年份额增长13.28亿份，实现显著增长。

平安证券指出，2026年美、中九大CSP合计资本开支已上修至约8300亿美元，年增速达79%，AI竞赛引发的资源竞争已全面蔓延至整个半导体供应链；NVIDIA等头部企业已抢先锁定4/3nm先进制程、CoWoS封装及HBM等关键产能，倒逼上游设备厂商加速交付与技术适配。在此背景下，设备作为晶圆制造的“卡脖子”环节，其国产替代紧迫性与确定性同步增强。

相关标的：

半导体设备ETF易方达（159558）