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天眼查APP显示，近日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的“一种磁控阴极的磁场设计方法及磁场测量装置”专利公布。 摘要显示，本发明属于真空磁控溅射镀膜技术领域，具体地说是一种磁控阴极的磁场设计方法及磁场测量装置，将磁钢分为中心磁钢和外环磁钢，通过磁场测量装置测量磁控阴极组件的磁场分布，根据测量结果调整中心磁钢和外环磁钢的相对位置，获得磁钢的最优布置，使磁控阴极组件的磁场分布均匀，同时避免出现非靶材的溅射。通过本发明的设计方法可以直接获得磁控阴极组件的磁场分布，结合软件仿真计算结果，提升了磁控阴极组件的磁场设计效率，并降低了研发成本。